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Safety Data Sheet DE

Hexamethyldisilazan

CAS 999-97-3
EC 213-668-5

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01

Identification

Product identifiers, regulatory numbers, and supplier information

Product Information

Product Name
Hexamethyldisilazan
Product Code
STD1554, STD1555
Chemical Name
Hexamethyldisilazan

Regulatory Identifiers

CAS Number
999-97-3 Check regulations →
EC Number
213-668-5 Check regulations →
REACH No.
01-2119438176-38-xxxx

Identified Uses

Semiconductors industry, Plating industry, Electronic and microelectronic industry, PCB industry, Laboratory, Water treatment, Photovoltaic industry, Resins stripping, Stripping - Cleaning, Metal etching

Manufacturers & Suppliers

T

TECHNIC France

manufacturer

15, rue de la Montjoie, F-93210 SAINT DENIS

+33(0)149465100

Emergency Contacts

ORFILA

+33 1 45 42 59 59

Technic - La Plaine Saint Denis

+33 1 49 46 51 00

02

Hazard Identification

GHS classification, signal word, pictograms, and hazard statements

Classified danger

Hazard Classifications

Flam. Liq. Cat. 2 H225
Acute Tox. Cat. 3 H311
Acute Tox. Cat. 4 H302
Acute Tox. Cat. 4 H332
Aquatic Chronic Cat. 3 H412

GHS Pictograms

GHS02 - Flammable

GHS02

GHS06 - Acute toxicity

GHS06

GHS07 - Health hazard

GHS07

Hazard Statements

H225 Flüssigkeit und Dampf leicht entzündbar.
H302 + H332 Gesundheitsschädlich bei Verschlucken oder Einatmen.
H311 Giftig bei Hautkontakt.
H412 Schädlich für Wasserorganismen, mit langfristiger Wirkung.

Precautionary Statements

P210 Von Hitze, heißen Oberflächen, Funken, offenen Flammen und anderen Zündquellen fernhalten. Nicht rauchen.
P264 Nach Gebrauch gründlich waschen.
P280 Schutzhandschuhe/ Schutzkleidung/ Augenschutz/ Gesichtsschutz/ Gehörschutz tragen.
P303 + P361 + P353 BEI BERÜHRUNG MIT DER HAUT (oder dem Haar): Alle kontaminierten Kleidungsstücke sofort ausziehen. Haut mit Wasser abwaschen [oder duschen].
P405 Unter Verschluss aufbewahren.
P501 Entsorgung des Inhalts / des Behälters gemäß den örtlichen / nationalen/ internationalen Vorschriften.

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03

Composition / Information on Ingredients

Chemical components, concentration ranges, and hazardous substance identification

Type substance
Chemical Name CAS Number Concentration Hazardous
Hexamethyldisilazan EC: 213-668-5 999-97-3 --- No
04

First Aid Measures

Emergency procedures for chemical exposure incidents

Inhalation

Frischluftzufuhr, gegebenenfalls Atemspende, Wärme. Bei anhaltenden Beschwerden Arzt konsultieren. Bei Bewusstlosigkeit Lagerung und Transport in stabiler Seitenlage.

Skin contact

Sofort Arzt hinzuziehen. Sofort mit Wasser und Seife abwaschen und gut nachspülen. Take the clothes off. Wash for 15 minutes.

Eye contact

Augen bei geöffnetem Lidspalt mehrere Minuten unter fließendem Wasser abspülen und Arzt konsultieren.

Ingestion

Sofort ärztlichen Rat einholen. Spülen Sie die Kontur des Mundes. Nicht essen, nicht erbrechen.

Immediate Medical Attention

Sofort Arzt hinzuziehen bei Hautkontakt. Sofort ärztlichen Rat einholen bei Verschlucken.

05

Firefighting Measures

Extinguishing media, specific hazards, and firefighter protection

Suitable media

CO2, Löschpulver oder Wassersprühstrahl. Größeren Brand mit Wassersprühstrahl oder alkoholbeständigem Schaum bekämpfen.

Unsuitable media

Wasser im Vollstrahl

Specific hazards

Keine weiteren relevanten Informationen verfügbar.

Firefighter Protection

Atemschutzgerät anlegen.

06

Accidental Release Measures

Spill cleanup procedures, containment, and environmental protection

Emergency procedures

Schutzausrüstung tragen. Ungeschützte Personen fernhalten.

Environmental

Nicht in die Kanalisation/Oberflächenwasser/Grundwasser gelangen lassen.

Cleanup methods

Mit flüssigkeitsbindendem Material aufnehmen.

Materials: Sand, Kieselgur, Säurebinder, Universalbinder, Sägemehl

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07

Handling and Storage

Safe handling precautions, storage conditions, and workplace requirements

Handling

Handschuhe und Augenschutz

Storage

An einem kühlen Ort lagern. Behälter dicht geschlossen halten. In gut verschlossenen Gebinden kühl und trocken lagern.

Fire prevention

Zündquellen fernhalten - nicht rauchen.

08

Exposure Controls / PPE

Occupational exposure limits, engineering controls, and protective equipment

Hands

Schutzhandschuhe. Das Handschuhmaterial muss undurchlässig und beständig gegen die Zubereitung sein nach EN 374. Auswahl des Handschuhmaterials unter Beachtung der Durchbruchzeiten, Permeationsraten und der Degradation. Die Auswahl eines geeigneten Handschuhs ist nicht nur vom Material, sondern auch von weiteren Qualitätsmerkmalen abhängig und von Hersteller zu Hersteller unterschiedlich. Die genaue Durchbruchzeit ist beim Schutzhandschuhhersteller zu erfahren und einzuhalten.

Eyes

Dichtschließende Schutzbrille nach EN 166

Respiratory

Bei kurzzeitiger oder geringer Belastung Atemfiltergerät; bei intensiver bzw. längerer Exposition umluftunabhängiges Atemschutzgerät verwenden.

Skin/Body

Schutzkleidung CEN 340, 465, 466, 497, 943, 374 Handschuhe CEN; Godillots Protektoren CEN 344, 345

09

Physical and Chemical Properties

Appearance, physical state, melting point, boiling point, and material characteristics

Physical State
Flüssig
Physical State Data
liquid
State Under Standard Conditions
---
Appearance
Farblos
Colour
Farblos
Colour Intensity
---
Form
Flüssig
Odor
Ammoniakartig
Odor Threshold
Nicht bestimmt.
Ph
Nicht bestimmt.
Melting Point
-82 °C
Boiling Point
126 °C
Flash Point
11 °C
Freezing Point
---
Softening Point
---
Solidification Point
---
Cloud Point
---
Crystallisation Point
---
Relative Evaporation Rate
---
Evaporation Rate
Nicht bestimmt.
Vapor Pressure
12 hPa
Vapor Density
Nicht bestimmt.
Relative Density
Nicht bestimmt.
Bulk Density
774 kg/m³
Density
0,774 g/cm³
Flammability
---
Upper Explosive Limit
Obere: 25,9 Vol %
Lower Explosive Limit
Untere: 0,8 Vol %
Explosive Limits
---
Auto Ignition Temperature
380 °C
Decomposition Temperature
Nicht bestimmt.
Solubility
---
Partition Coefficient
Nicht bestimmt.
Solubility In Water
Nicht bzw. wenig mischbar.
Solubility In Fat
---
Molecular Weight
---
Voc Content
---
Metal Corrosion
---
Dynamic Viscosity
Nicht bestimmt.
Kinematic Viscosity
Nicht bestimmt.
Properties Status
---
10

Stability and Reactivity

Chemical stability, hazardous reactions, and incompatible materials

Stability

Keine Zersetzung bei bestimmungsgemäßer Verwendung.

Reactivity

Keine weiteren relevanten Informationen verfügbar.

Hazardous reactions

Keine gefährlichen Reaktionen bekannt.

Avoid

Keine weiteren relevanten Informationen verfügbar.

Incompatible

Keine weiteren relevanten Informationen verfügbar.

Decomposition

Keine gefährlichen Zersetzungsprodukte bekannt.

12

Ecological Information

Environmental toxicity, biodegradation, and bioaccumulation data

The data for this section has not been processed yet.

13

Disposal Considerations

Waste treatment methods, disposal recommendations, and waste codes

The data for this section has not been processed yet.

14

Transport Information

UN numbers, shipping names, transport classes, and regulatory requirements

UN Number
1992
Shipping Name
ENTZÜNDBARER FLÜSSIGER STOFF, GIFTIG, N.A.G. (Hexamethyldisilazan)
Transport Class
3
Packing Group
II
ADR

Achtung: Entzündbare flüssige Stoffe

IMDG

Achtung: Entzündbare flüssige Stoffe

IATA

Achtung: Entzündbare flüssige Stoffe

15

Regulatory Information

Chemical regulations, safety assessments, and compliance status

The data for this section has not been processed yet.

?

Frequently Asked Questions

Common questions about safety, handling, and properties

What is the hazard signal word for Hexamethyldisilazan?

The signal word is danger.

What is the physical form of Hexamethyldisilazan?

Hexamethyldisilazan is a flüssig appearing as farblos with farblos color. It has ammoniakartig odor.

What is Hexamethyldisilazan used for?

Semiconductors industry, Plating industry, Electronic and microelectronic industry, PCB industry, Laboratory, Water treatment, Photovoltaic industry, Resins stripping, Stripping - Cleaning, Metal etching

What are the hazard statements for Hexamethyldisilazan?

This substance has 4 hazard statements:

  • H225: Flüssigkeit und Dampf leicht entzündbar.
  • H302 + H332: Gesundheitsschädlich bei Verschlucken oder Einatmen.
  • H311: Giftig bei Hautkontakt.
  • H412: Schädlich für Wasserorganismen, mit langfristiger Wirkung.

What is the melting point of Hexamethyldisilazan?

The melting point is -82 °C and the boiling point is 126 °C.