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Safety Data Sheet DE

ma-D 533 & ma-D 533/S

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01

Identification

Product identifiers, regulatory numbers, and supplier information

Product Information

Product Name
ma-D 533 & ma-D 533/S

Regulatory Identifiers

CAS Number
N/A

Identified Uses

Entwicklerflüssigkeit (Developer for Photoresists) Produktkategorien [PC]: Lichtempfindliches Mittel und andere Fotochemikalien Industrielle Verwendungen: Verwendungsbereiche [SU]: Herstellung von Computern, elektrischen und optischen Erzeugnissen, elektrischen Anlagen.

Uses advised against

Nicht für private Zwecke (Haushalt) verwenden.

Manufacturers & Suppliers

micro resist technology GmbH logo

micro resist technology GmbH

manufacturer

Koepenicker Str. 325, D-12555 Berlin

+49 30 641670-100

http://www.microresist.de

Emergency Contacts

Chemtrec

+1 703 527 3887

02

Hazard Identification

GHS classification, signal word, pictograms, and hazard statements

Classified danger

Hazard Classifications

Acute Tox. Cat. 4
Skin Corr. Cat. 1C
Eye Dam. Cat. 1
STOT SE Cat. 2
STOT RE Cat. 2
Aquatic Chronic Cat. 3

GHS Pictograms

GHS05 - Corrosive

GHS05

GHS07 - Health hazard

GHS07

GHS08 - Serious health hazard

GHS08

Hazard Statements

H302 Gesundheitsschädlich bei Verschlucken.
H314 Verursacht schwere Verätzungen der Haut und schwere Augenschäden.
H371 Kann die Organe schädigen.
H373 Kann die Organe schädigen bei längerer oder wiederholter Exposition.
H412 Schädlich für Wasserorganismen, mit langfristiger Wirkung.

Precautionary Statements

P260 Staub/Rauch/Gas/Nebel/Dampf/Aerosol nicht einatmen.
P280 Schutzhandschuhe/Schutzkleidung/Augenschutz/Gesichtsschutz tragen.
P305 + P351 + P338 BEI KONTAKT MIT DEN AUGEN: Einige Minuten lang behutsam mit Wasser spülen. Eventuell vorhandene Kontaktlinsen nach Möglichkeit entfernen. Weiter spülen.
P310 Sofort GIFTINFORMATIONSZENTRUM/Arzt anrufen.
P501 Entsorgung gemäss den behördlichen Vorschriften.

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03

Composition / Information on Ingredients

Chemical components, concentration ranges, and hazardous substance identification

Type mixture
Chemical Name CAS Number Concentration Hazardous
Tetramethylammoniumhydroxid EC: 200-882-9 75-59-2 1 - 5% Yes
04

First Aid Measures

Emergency procedures for chemical exposure incidents

Inhalation

Für Frischluft sorgen. Bei Atembeschwerden Sauerstoff geben. Bei Gefahr von Bewusstlosigkeit Lagerung und Transport in stabiler Seitenlage. Bei Reizung der Atemwege Arzt aufsuchen.

Skin contact

Bei Berührung mit der Haut sofort abwaschen mit viel Wasser und Seife. Kontaminierte Kleidung wechseln. Bei Hautreizungen Arzt aufsuchen.

Symptoms: schwere Verätzungen der Haut

Eye contact

Bei Berührung mit den Augen sofort bei geöffnetem Lidspalt 10 bis 15 Minuten mit fließendem Wasser spülen und Augenarzt aufsuchen.

Symptoms: schwere Augenschäden

Ingestion

Bei Erbrechen Aspirationsgefahr beachten. Sofort Mund ausspülen und reichlich Wasser nachtrinken. KEIN Erbrechen herbeiführen. Sofort Arzt hinzuziehen. Kein Neutralisationsmittel trinken lassen.

Symptoms: Magenperforation.

Immediate Medical Attention

Ärztliche Behandlung notwendig. Bei Unfall oder Unwohlsein sofort Arzt hinzuziehen.

Medical Treatment

Ärztliche Behandlung notwendig.

05

Firefighting Measures

Extinguishing media, specific hazards, and firefighter protection

Suitable media

Wasser. Kohlendioxid (CO2). Trockenlöschmittel. Schaum.

Unsuitable media

Keine Daten verfügbar

Specific hazards

Nicht entzündbar. Thermische Zersetzung kann zur Freisetzung von reizenden Gasen und Dämpfen führen.

Instructions

Gase/Dämpfe/Nebel mit Wassersprühstrahl niederschlagen.

Firefighter Protection

Umgebungsluftunabhängiges Atemschutzgerät und Chemikalienschutzanzug tragen.

06

Accidental Release Measures

Spill cleanup procedures, containment, and environmental protection

Emergency procedures

Für ausreichende Lüftung sorgen. Gas/Rauch/Dampf/Aerosol nicht einatmen. Kontakt mit Haut, Augen und Kleidung vermeiden. Persönliche Schutzausrüstung verwenden.

Environmental

Nicht in die Kanalisation oder Gewässer gelangen lassen.

Cleanup methods

In geschlossenen Behältern sammeln und zur Entsorgung bringen. Verschmutzte Gegenstände und Fussboden unter Beachtung der Umweltvorschriften gründlich reinigen.

Materials: flüssigkeitsbindendem Material (Sand, Kieselgur, Säurebinder, Universalbinder)

—

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07

Handling and Storage

Safe handling precautions, storage conditions, and workplace requirements

Handling

Bei offenem Umgang sind Vorrichtungen mit lokaler Absaugung zu verwenden. Gas/Rauch/Dampf/Aerosol nicht einatmen. Kontakt mit Haut, Augen und Kleidung vermeiden.

Storage

Behälter dicht geschlossen an einem gut gelüfteten Ort aufbewahren. Schützen gegen: UV-Einstrahlung/Sonnenlicht. Geeignetes Fußbodenmaterial: Laugenbeständig.

Hygiene

Kontakt mit Haut, Augen und Kleidung vermeiden.

08

Exposure Controls / PPE

Occupational exposure limits, engineering controls, and protective equipment

Engineering

Bei offenem Umgang sind Vorrichtungen mit lokaler Absaugung zu verwenden. Gas/Rauch/Dampf/Aerosol nicht einatmen. Persönliche Schutzausrüstung tragen. Für ausreichende Lüftung sorgen.

Hands

Beim Umgang mit chemischen Arbeitsstoffen dürfen nur Chemikalienschutzhandschuhe mit CE-Kennzeichen inklusive vierstelliger Prüfnummer getragen werden. Chemikalienschutzhandschuhe sind in ihrer Ausführung in Abhängigkeit von Gefahrstoffkonzentration und -menge arbeitsplatzspezifisch auszuwählen. Es wird empfohlen, die Chemikalienbeständigkeit der oben genannten Schutzhandschuhe für spezielle Anwendungen mit dem Handschuhhersteller abzuklären. Geprüfte Schutzhandschuhe sind zu tragen: DIN-/EN-Normen: DIN EN 374. Tragedauer bei permanentem Kontakt: Geeignetes Material: FKM (Fluorkautschuk). Dicke des Handschuhmaterials: 0.7 mm. Durchdringungszeit (maximale Tragedauer): > 480 min. Empfohlene Handschuhfabrikate: KCL 890 Vitoject, Hersteller: KCL GmbH, D-36124 Eichenzell, Bezugsquelle(n): www.kcl.de. Tragedauer bei gelegentlichem Kontakt (Spritzer): Geeignetes Material: NBR (Nitrilkautschuk). Dicke des Handschuhmaterials: 0.4 mm. Durchdringungszeit (maximale Tragedauer): > 10 min. Empfohlene Handschuhfabrikate: KCL 730 Camatril-Velours, Hersteller: KCL GmbH, D-36124 Eichenzell, Bezugsquelle(n): www.kcl.de. Es wird empfohlen, die Chemikalienbeständigkeit der oben genannten Schutzhandschuhe für spezielle Anwendungen mit dem Handschuhhersteller abzuklären.

Eyes

Geeigneter Augenschutz: Korbbrille.

Respiratory

Bei unzureichender Belüftung Atemschutz tragen. Filtertypen: A, B, E, K. Klasse 1: Höchstzulässige Schadstoffkonzentration in der Atemluft = 1000 mL/m³ (0,1 Vol.-%); Klasse 2 = 5000 mL/m³ (0,5 Vol.-%); Klasse 3 = 10000 mL/m³ (1,0 Vol.-%).

Skin/Body

Zum Schutz vor unmittelbarem Hautkontakt ist Körperschutz (zusätzlich zur üblichen Arbeitskleidung) erforderlich. Beschmutzte, getränkte Kleidung sofort ausziehen.

Environmental

Nicht in die Kanalisation gelangen lassen.

09

Physical and Chemical Properties

Appearance, physical state, melting point, boiling point, and material characteristics

Language Code
---
Physical State
flüssig
Physical State Data
liquid
State Under Standard Conditions
---
Appearance
---
Colour
farblos
Colour Intensity
---
Form
---
Odor
Keine Daten verfügbar
Odor Threshold
---
Ph
> 12
Melting Point
Keine Daten verfügbar
Boiling Point
100 °C
Flash Point
Nicht entzündbar.
Freezing Point
---
Softening Point
---
Solidification Point
---
Cloud Point
---
Crystallisation Point
---
Relative Evaporation Rate
---
Evaporation Rate
Keine Daten verfügbar
Vapor Pressure
Keine Daten verfügbar
Vapor Density
Keine Daten verfügbar
Relative Density
---
Bulk Density
---
Density
1 g/cm³
Flammability
---
Upper Explosive Limit
nicht anwendbar
Lower Explosive Limit
nicht anwendbar
Explosive Limits
---
Auto Ignition Temperature
nicht anwendbar
Decomposition Temperature
nicht bestimmt
Solubility
---
Partition Coefficient
Keine Daten verfügbar
Solubility In Water
mischbar.
Solubility In Fat
---
Molecular Weight
---
Voc Content
---
Metal Corrosion
---
Dynamic Viscosity
Keine Daten verfügbar
Kinematic Viscosity
Keine Daten verfügbar
Properties Status
---
10

Stability and Reactivity

Chemical stability, hazardous reactions, and incompatible materials

Stability

Das Produkt ist bei Lagerung bei normalen Umgebungstemperaturen stabil.

Reactivity

Nicht mischen mit Säuren.

Hazardous reactions

Exotherme Reaktion mit: Säure, Peroxide, Oxidationsmittel. Reaktion: Nicht mischen mit Säuren. Oxidationsmittel, stark.

Avoid

Hitze

Incompatible

Säure, Oxidationsmittel, Peroxide. Metall.

Decomposition

reizende Gase und Dämpfe

12

Ecological Information

Environmental toxicity, biodegradation, and bioaccumulation data

12.1. Toxizität

Schädlich für Wasserorganismen, kann in Gewässern längerfristig schädliche Wirkungen haben.

Schädlich für Wasserorganismen, kann in Gewässern längerfristig schädliche Wirkungen haben.

12.1 Toxicity

| CAS-Nr. | Bezeichnung | Aquatische Toxizität | Dosis | [h] | [d] | Spezies | Quelle | | 75-59-2 | Tetramethylammoniumhydroxid | Akute Fischtoxizität | LC50 462 mg/l | 96 h | | Pimephales promelas | | | | | Akute Algentoxizität | ErC50 96 mg/l | 72 h | | Pseudokirchneriella subcatitata | | | | | Akute Crustaceatoxizität | EC50 3 mg/l | 48 h | | Daphnia magna | | | | | Crustaceatoxizität | NOEC 0,025 mg/l | | 11 d | Daphnia magna | |

12.2. Persistenz und Abbaubarkeit

Keine Daten verfügbar

12.3. Bioakkumulationspotenzial

Es sind keine Daten für die Mischung verfügbar. Verteilungskoeffizient n-Oktanol/Wasser | CAS-Nr. | Bezeichnung | Log Pow | | --- | --- | --- |

12.3 Bioaccumulative potential

Log Pow: < -1,4

12.4. Mobilität im Boden

Das Produkt wurde nicht geprüft.

Das Produkt wurde nicht geprüft.

12.5. Ergebnisse der PBT- und vPvB-Beurteilung

Es sind keine Daten für die Mischung verfügbar.

Es sind keine Daten für die Mischung verfügbar.

12.6. Andere schädliche Wirkungen

Es liegen keine Informationen vor.

Es liegen keine Informationen vor.

13

Disposal Considerations

Waste treatment methods, disposal recommendations, and waste codes

Treatment

Übergabe an zugelassenes Entsorgungsunternehmen.

Disposal

Übergabe an zugelassenes Entsorgungsunternehmen.

14

Transport Information

UN numbers, shipping names, transport classes, and regulatory requirements

UN Number
1835
Shipping Name
TETRAMETHYLAMMONIUMHYDROXID, LÖSUNG
Transport Class
8
Packing Group
III
ADR

Achtung: stark ätzend. Siehe Schutzmaßnahmen unter Punkt 7 und 8.

IMDG

Achtung: stark ätzend. Siehe Schutzmaßnahmen unter Punkt 7 und 8.

IATA

Achtung: stark ätzend. Siehe Schutzmaßnahmen unter Punkt 7 und 8.

15

Regulatory Information

Chemical regulations, safety assessments, and compliance status

Vorschriften zu Sicherheit, Gesundheits- und Umweltschutz/spezifische Rechtsvorschriften für den Stoff oder das Gemisch

Chemical Safety Assessment Not performed
?

Frequently Asked Questions

Common questions about safety, handling, and properties

What is the hazard signal word for ma-D 533 & ma-D 533/S?

The signal word is danger.

What is the physical form of ma-D 533 & ma-D 533/S?

ma-D 533 & ma-D 533/S is a flüssig with farblos color. It has keine daten verfügbar odor.

What is ma-D 533 & ma-D 533/S used for?

Entwicklerflüssigkeit (Developer for Photoresists) Produktkategorien [PC]: Lichtempfindliches Mittel und andere Fotochemikalien Industrielle Verwendungen: Verwendungsbereiche [SU]: Herstellung von Computern, elektrischen und optischen Erzeugnissen, elektrischen Anlagen.

What are the hazard statements for ma-D 533 & ma-D 533/S?

This substance has 5 hazard statements:

  • H302: Gesundheitsschädlich bei Verschlucken.
  • H314: Verursacht schwere Verätzungen der Haut und schwere Augenschäden.
  • H371: Kann die Organe schädigen.
  • H373: Kann die Organe schädigen bei längerer oder wiederholter Exposition.
  • H412: Schädlich für Wasserorganismen, mit langfristiger Wirkung.

What is the melting point of ma-D 533 & ma-D 533/S?

The melting point is Keine Daten verfügbar and the boiling point is 100 °C.